البحث المتقدم

تحقيق الخواص التركيبية والضوئية للسطح القريب لشرائح من تلوريد الكادميوم الناتج عن الغرس الايوني بالغمر بالبلازما النيتروجينية

Title Investigation of structural and optical properties of near surface of CdTe film induced by nitrogen plasma immersion ion implantation

الباحث الرئيس عبدالله رجاءالله دليم المحمدي

الباحثون المشاركون

التخصص: الفيزياء
التخصص الدقيق: فيزياء تطبيقية
المستخلص: تقنية زرع (غرس) الايونات بالغمر باستخدام البلازما النيتروجينية هي تقنية مهمة للاداء الضحل (السطحي) للوصلات للتطبيقات الالكترونية الدقيقة. ذلك العمل يصف تأثير النيتروجين بتقنية البلازما على الخواص التركيبية والتصويرية (الشكلية – Morphological) علي الشرائح الرقيقة من تلوريد الكادميوم. للوصول الي افضل نتائج الزرع الايوني، يتم إجراء التجارب عند أزمنة (بداية من الصفر، 2,5، 5، 10، 15 دقيقة) مختلفة للتعرض. تم استخدام الميكرسكوب الالكتروني الماسح وتشتت الطاقة للاشعة السينية للتحقق (فحص) الشكل السطحي لشرائح (أفلام) تلوريد الكادميوم المزروعة. وفقا لتحليل حيود (تشتت) الأشعة السينية، لوحظ تغير كبير في معاملات الشكل التركيبي مثل معامل الشبكية، الاجهاد الداخلي، حجم البللورات وانفعال الشبكية كنتيجة لزيادة الدورة (الفترة) الزمنية لغرس ايونات النتروجين في شريحة تلوريد الكادميوم. تم تقدير (تقييم) قيم طاقة الفجوة للشرائح (الافلام) المزروعة بالنسبة للاطوال الموجية ولقد وجد انها تنخفض (تتناقص) مع زيادة زمن التعرض للبلازما. تم شرح وربط انخفاض قيم طاقة الفجوة بالتغير في المعاملات التركيبية الدقيقة (المجهرية).
Abstract: Plasma immersion ion implantation (PIII) is an important technique for performing a shallow junction for microelectronic applications. This work describes the effect of nitrogen PIII on structural, morphological and optical properties of CdTe thin films. To optimize the implantation results, the experiments were carried out at different exposure times (0, 2.5, 5, 10, 15 min). Scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersed x-ray (EDX) were used to investigate the surface morphology of CdTe implanted films. According to x-ray diffraction (XRD) analysis, a considerable change in structural parameters such as lattice parameter, internal stress, crystallite size and lattice strain are observed as a result of increasing the duration time of plasma immersion nitrogen ions implanted CdTe film. The energy gap (${E}_{g}^{opt}$) values of implanted films were estimated in terms of the first derivative of absorbance with respect to wavelength and found to be decreased with increasing PIII exposure time. The reduction in ${E}_{g}^{opt}$ values was explained and correlated with the change in microstructure parameters.
الحالة: محكم ومنشور
جهة التحكيم: مجلة محكمة
دار النشر: Institute of Physics
سنة النشر: 2018
تحويل التاريخ